干式螺桿真空泵是利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合。螺桿真空泵在國(guó)內(nèi)制藥、化工、半導(dǎo)體等對(duì)清潔真空要求較高的企業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
關(guān)鍵應(yīng)用領(lǐng)域
1. 半導(dǎo)體與電子工業(yè)：這是干式螺桿泵重要高端的應(yīng)用領(lǐng)域，幾乎是現(xiàn)代半導(dǎo)體生產(chǎn)線不可或缺的設(shè)備。
· 晶圓制造過(guò)程中的化學(xué)氣相沉積(CVD)和物理氣相沉積(PVD)
· 等離子體蝕刻和離子注入工藝
· 真空封裝和測(cè)試環(huán)境
2. 光伏產(chǎn)業(yè)
· 太陽(yáng)能電池生產(chǎn)中的薄膜沉積工藝
· 硅片加工過(guò)程中的真空環(huán)境控制
3. 制藥與生物技術(shù)
· 凍干工藝(冷凍干燥)
· 藥品包裝的真空環(huán)境
· 生物制品生產(chǎn)中的無(wú)菌環(huán)境
4. 化工與材料科學(xué)
· 精細(xì)化工中的蒸餾與萃取
· 特種材料合成與處理
· 分析儀器配套
5. 科研與實(shí)驗(yàn)室
· 同步輻射裝置
· 表面分析儀器
· 真空模擬環(huán)境
總結(jié)：為何選擇干式螺桿泵？
在以上領(lǐng)域，干式螺桿真空泵替代了傳統(tǒng)的油封旋片泵、水環(huán)泵等，主要解決了以下痛點(diǎn)：
污染控制： 完全無(wú)油，保護(hù)工藝和產(chǎn)品。
介質(zhì)適應(yīng)性廣： 可處理苛刻工藝氣體，減少?gòu)U氣處理負(fù)擔(dān)。
運(yùn)行成本低： 省去了油、水等耗材及其處理費(fèi)用，維護(hù)間隔長(zhǎng)。
環(huán)保與安全： 無(wú)廢油、廢水排放，更環(huán)保；處理易燃?xì)怏w更安全。
性能穩(wěn)定： 在較寬的壓力范圍內(nèi)能保持穩(wěn)定的抽速。
因此，干式螺桿真空泵是先進(jìn)制造、精密加工、高端科研和綠色化工等領(lǐng)域追求高質(zhì)量、高可靠性和可持續(xù)發(fā)展的重要基礎(chǔ)裝備。
浙江省的真空泵設(shè)備廠家——杭州新安江工業(yè)泵有限公司，主營(yíng)干式螺桿真空泵、水噴射真空泵、水環(huán)式真空泵、液環(huán)真空泵、無(wú)油真空泵、羅茨真空泵、鋼襯四氟真空機(jī)組、不銹鋼真空機(jī)組、鋼襯塑PE/鋼襯塑PO儲(chǔ)罐、鋼襯四氟儲(chǔ)罐、不銹鋼儲(chǔ)罐、PPH/HDPE儲(chǔ)罐、廢氣處理成套設(shè)備、酸霧凈化塔、防腐儲(chǔ)槽、真空罐、計(jì)量罐、化工離心泵、料漿泵、磁力泵、自吸泵、管道泵等。
我企業(yè)是一家集科研、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、銷售和系統(tǒng)集成為一體的高新技術(shù)企業(yè)，近七年連續(xù)列入建德市重點(diǎn)工業(yè)企業(yè)， 2012年被評(píng)為國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)。公司努力加快技術(shù)創(chuàng)新和新產(chǎn)品開發(fā)的步伐，現(xiàn)擁有杭州新安江防腐工業(yè)泵省高新技術(shù)企業(yè)研發(fā)中心，擁有羅茨真空泵冷卻系統(tǒng)等45項(xiàng)國(guó)家專利技術(shù)（其中發(fā)明專利4項(xiàng)）。
